垂直气流净化台静电消除
垂直气流工作台或清洁台护罩是常见的清洁台结构。顶部安装有 FFU,从顶部区域和护罩前端出口往下吹层状气流,防止灰尘的入侵。
这种连续的接近干燥的气流经过过滤之后很容易在关键区域内的任何物体上产生很高的静电。接下来如果将干净却带电的产品从护罩区移开,会使得产品由于静电吸附原因立即被停留位置空气中的灰尘污染,位于主洁净室的外部停留位置毫无疑问洁净等级要低于防护罩内部区域。
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在防护罩背面约 1/3 处 (大约200mm) 并覆盖整个宽度 (通常 1100mm) 位置安装细小截面的3850 Ionstorm 静电棒或3024L 静电棒,保证整个防护区域内的工作台笼罩在层状离子气流的覆盖中,这样工作台和其上处理的产品都在离子作用范围内。
如果有被污染的产品进入护罩内的工作台,可以用 4125 离子气枪进行清洁,可以吹除由于静电吸附在产品表面的颗粒。